中芯国际临港12英寸晶圆代工生产线项目自控系统工程
中芯国际临港12英寸晶圆代工生产线项目选址于临港新片区书院镇,占地892.5亩,是中芯国际在上海首家按照Twin Fab方式,建造的超大逻辑芯片代工生产厂房。项目规划建设每月20万片的12英寸晶圆代工生产线。
一期项目总投资额88.66亿美元。
主要涉及系统:低温冷冻水系统、中温冷冻水系统、冷却水系统、热回收水系统、锅炉热水系统、柴油系统、一般空调系统、给排水系统、FCU集控系统、FMCS等系统,共计13000多点的控
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